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CH2F2

Halocarbon 32 / Difluoromethane Application Halocarbon 32 is used in the etching applicati

#CH2F2#CVD#Halocarbon#difluorometh#etch#二氟甲烷#蝕刻
Halocarbon 32 / Difluoromethane

Application
Halocarbon 32 is used in the etching application for DRAM and Semiconductor industry.


Product Specification
Purity    99.99%
N2             40
O2            10
H2O         10
OHC         60
HF            0.1
*ppm

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